真空镀膜机维护

真空镀膜机维护：

1、保护设备正常工作的必要条件：

2、工件环境温度不得高于40℃。

3、工件环境相对湿度不得大于90%。

4、冷却水进水温度不得高于25℃，水压不得低于0.2Mpa，供气压力0.6Mpa，工作压力0.4～0.5MPa。

5、设备及工作环境必须清洁。

6、使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。

7、蒸发材料应预先除气。

8、进行离子轰击时，蒸发室的真空度必须在10～1Pa范围内，否则蒸发室的气体电离所产生的电流，使工件烘烤电源有短路的危险，因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。

9、当电源或机械泵发生故障时，应立即停机，关闭高真空阀。

10、定期检查机、电各部份工作情况。

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